εταιρικά νέα για Πόσο καθαρή απαιτείται η κατασκευή ηλεκτρονικών τσιπ;

Κατά τη διαδικασία παραγωγής ηλεκτρονικών τσιπ, οι απαιτήσεις καθαριότητας σε διαφορετικές περιοχές παραγωγής είναι διαφορετικές,βασίζεται κυρίως στο πρότυπο ISO 14644-1 και στις ανάγκες ακρίβειας της διαδικασίας παραγωγής για τον προσδιορισμόΟι συγκεκριμένες απαιτήσεις είναι οι εξής:

1. Περιοχή παραγωγής πλακιδίων

Λιθογραφική περιοχή:Οι υψηλότερες απαιτήσεις καθαριότητας, συνήθως ISO 1-3, πρέπει να ελέγχουν σωματίδια 0,1 μμ και άνω.μικροσκοπικά σωματίδια μπορεί να προκαλέσουν ελαττώματα στο σχέδιο φωτολιθογραφίας, επηρεάζοντας τις επιδόσεις του τσιπ.
Περιοχές χαρακτικής και εναπόθεσης:υψηλές απαιτήσεις καθαριότητας, γενικά ISO 3-5, πρέπει να ελέγχουν σωματίδια 0,3 μm και άνω.

2. Πακετάρετε την περιοχή δοκιμής

Περιοχή συσκευασίας:Οι απαιτήσεις μέσης καθαρότητας, συνήθως ISO 5-7, πρέπει να ελέγχουν σωματίδια 0,5 μμ και άνω.
Περιοχή δοκιμής:Οι απαιτήσεις καθαριότητας είναι χαμηλές, γενικά ISO 7-8, πρέπει να ελέγχονται σωματίδια 0,5 μm και άνω.

3. Βοηθητική περιοχή

Περιοχή αποθήκευσης χημικών ουσιών:Οι απαιτήσεις καθαριότητας είναι χαμηλές, συνήθως ISO 7-8.
Περιοχή συντήρησης εξοπλισμού:ελάχιστες απαιτήσεις καθαριότητας, γενικά επιπέδου ISO 8.

4Χώρος πρόσβασης προσωπικού και υλικού

Δωμάτια μεταμφιεσμού και ντους με αέρα:Οι απαιτήσεις καθαριότητας είναι μέτρια, συνήθως ISO 5-7.
Περιοχή πρόσβασης υλικού:Οι απαιτήσεις καθαριότητας είναι χαμηλές, γενικά στο επίπεδο ISO 7-8.
Μέτρα διατήρησης της καθαριότητας
Σύστημα καθαρισμού αέρα:Εξοπλισμένο με φίλτρο υψηλής απόδοσης (HEPA) και φίλτρο υπερ-υψηλής απόδοσης (ULPA) για τη διασφάλιση της καθαρότητας του αέρα.
Οργάνωση της ροής αέρα:Η κάθετη μονοκατευθυντική ροή χρησιμοποιείται συνήθως στην περιοχή της λιθογραφίας και η μη μονοκατευθυντική ροή μπορεί να χρησιμοποιηθεί σε άλλες περιοχές.
Ελέγχος θερμοκρασίας και υγρασίας:Η θερμοκρασία ελέγχεται γενικά στους 22 °C ± 2 °C και η υγρασία στους 45%-65% RH.
Ρυθμισμός της θετικής πίεσης:Μια θετική διαφορά πίεσης 5-10Pa πρέπει να διατηρείται μεταξύ της καθαρής περιοχής και της ακαθαρμένης περιοχής.

Συνοπτικά, οι απαιτήσεις καθαριότητας της παραγωγής ηλεκτρονικών τσιπ ποικίλλουν ανάλογα με τη διαδικασία και την περιοχή, οι περιοχές λιθογραφίας και χαρακτικής έχουν υψηλές απαιτήσεις καθαριότητας,ενώ οι περιοχές συσκευασίας και δοκιμής είναι σχετικά χαμηλέςΑυτά τα αυστηρά πρότυπα καθαριότητας είναι το κλειδί για την εξασφάλιση της ποιότητας της κατασκευής τσιπ.