εταιρικά νέα για Ποια είναι η γενική κατηγορία των αρθρωτών χώρων καθαρισμού σε εργοστάσια ημιαγωγών;

Ποια είναι η γενική κατηγορία των μονωτικών καθαρών δωματίων στα εργοστάσια ημιαγωγών;

Τα μονωτικά καθαρά δωμάτια στα εργοστάσια ημιαγωγών έχουν σχεδιαστεί για να πληρούν αυστηρά πρότυπα καθαρότητας του αέρα που υπαγορεύονται από τις συγκεκριμένες διαδικασίες κατασκευής,που συμμορφώνονται κυρίως με το σύστημα ταξινόμησης ISO 14644-1Τα πιο συνηθισμένα επίπεδα είναι τα ακόλουθα:

1. Τάξη ISO 4 (ισοδύναμη με την Fed-Std-209E τάξη 10)Αυτό είναι το υψηλότερο επίπεδο που εφαρμόζεται συνήθως σε μονωτική μορφή.και περιβάλλοντα λιθογραφίας EUV (εξαιρετικά υπεριώδη)Οι χώροι αυτοί απαιτούν σχεδόν μηδενικό αριθμό σωματιδίων για σωματίδια τόσο μικρά όσο 0,1 μm.,Δημιουργούν μια μονόδρομη, κατακόρυφη κυματοειδής ροή αέρα προς τα κάτω στο υψωμένο πάτωμα.

2. Τάξη ISO 5 (Τάξη 100)Η πλειοψηφία των αρθρωτών καθαρών δωματίων για διαδικασίες όπως διάχυση, χαρακτική, εμφύτευση ιόντων,και χημική μηχανική οριζόντιση (CMP) στις κύριες λογικές και μνήμες κατασκευάζονται σύμφωνα με το ISO 5Η δομή τους επιτρέπει την αποτελεσματική διάταξη των εργαλείων επεξεργασίας.καταδίωξη, και επιστροφή αέρα plenums.

3. Τάξη ISO 6 (Τάξη 1.000): Αυτά χρησιμοποιούνται συνήθως για ελαφρώς λιγότερο κρίσιμες ζώνες, όπως ορισμένες μετρολογικές περιοχές, ορισμένες γραμμές συναρμολόγησης και συσκευασίας, σταθμοί ελέγχου πλακών,και διαδρόμους μεταφοράς καθαρών υλών (AMHS)Είναι επίσης κατάλληλα για την παραγωγή ημιαγωγών ισχύος ή συσκευών σε ώριμους κόμβους διαδικασίας.

4. Τάξη 7 (Τάξη 10.000) και Τάξη 8 (Τάξη 100.000): Τα διαρθρωτικά καθαρά δωμάτια σε αυτά τα επίπεδα έχουν υποστηρικτικές και βοηθητικές λειτουργίες.και χώροι προετοιμασίας φόρτωσης/αφόρτωσης πλακιδίωνΛειτουργούν ως ζώνες ασφαλείας για να αποτρέψουν τη μόλυνση από το να φτάσει στην υψηλότερη κατηγορία πυρήνα εργοστασίου.