Γιατί το ΥΠΈΡΟΧΟ καθαρό δωμάτιο πρέπει να ελέγξει την υγρασία;
Η υγρασία είναι ένας κοινός όρος περιβαλλοντικού ελέγχου στη λειτουργία των αποστειρωμένων δωματίων. Η αξία στόχων της σχετικής υγρασίας στο καθαρό δωμάτιο ημιαγωγών ελέγχεται για να είναι στη σειρά 30 σε 50%, που επιτρέπει στο λάθος για να είναι μέσα σε μια στενή σειρά ±1%, όπως μια φωτολιθογραφική περιοχή - ή ακόμα και μικρός στη μακρινή περιοχή υπεριώδους επεξεργασίας (DUV). - Σε ισχύ άλλες, μπορείτε να χαλαρώσετε μέσα σε ±5%.
Επειδή η σχετική υγρασία έχει διάφορους παράγοντες που μπορούν να συμβάλουν στη γενική απόδοση του καθαρού δωματίου, συμπεριλαμβάνων:
● βακτηριακή αύξηση
● Η σειρά της άνεσης που το προσωπικό αισθάνεται στη θερμοκρασία δωματίου
● Η στατική δαπάνη εμφανίζεται
● διάβρωση μετάλλων
● Συμπύκνωση υδρατμών
● υποβάθμιση της λιθογραφίας
● Απορρόφηση νερού.
Τα βακτηρίδια και άλλοι βιολογικοί μολυσματικοί παράγοντες (φόρμα, ιοί, μύκητες, άκαρια) μπορούν ενεργά να πολλαπλασιάσουν στα περιβάλλοντα με τη σχετική υγρασία επάνω από 60%. Κάποια χλωρίδα μπορεί να αυξηθεί όταν υπερβαίνει η σχετική υγρασία 30%. Όταν η σχετική υγρασία είναι μεταξύ 40% και 60%, τα αποτελέσματα των βακτηριδίων και των αναπνευστικών μολύνσεων μπορούν να ελαχιστοποιηθούν.
Η σχετική υγρασία στη σειρά 40% σε 60% είναι επίσης μια μέτρια σειρά στην οποία οι άνθρωποι αισθάνονται άνετοι. Η υπερβολική υγρασία μπορεί να κάνει τους ανθρώπους να αισθανθούν καταθλιπτικούς, ενώ η υγρασία κάτω από 30% μπορεί να κάνει τους ανθρώπους να αισθανθούν την ξηρά, προκαλεσμένη σκασίματα, αναπνευστική ταλαιπωρία και τη συναισθηματική ταλαιπωρία.
Η υψηλή υγρασία μειώνει πραγματικά τη συσσώρευση της στατικής δαπάνης στην επιφάνεια του καθαρού δωματίου - αυτό είναι το επιθυμητό αποτέλεσμα. Η χαμηλότερη υγρασία είναι καταλληλότερη για τη συσσώρευση δαπανών και μια ενδεχομένως καταστρεπτική πηγή ηλεκτροστατικής απαλλαγής. Όταν η σχετική υγρασία υπερβαίνει 50%, η στατική δαπάνη αρχίζει να διαλύει γρήγορα, αλλά όταν είναι η σχετική υγρασία λιγότερο από 30%, μπορούν να εμμείνουν για πολύ καιρό στο μονωτή ή την αγείωτη επιφάνεια.
Η σχετική υγρασία μεταξύ 35% και 40% μπορεί να είναι ένας ικανοποιητικός συμβιβασμός, και τα αποστειρωμένα δωμάτια ημιαγωγών χρησιμοποιούν χαρακτηριστικά τους πρόσθετους ελέγχους για να περιορίσουν τη συσσώρευση της στατικής δαπάνης.
Η ταχύτητα πολλών χημικών αντιδράσεων, συμπεριλαμβανομένης της διαδικασίας διάβρωσης, θα αυξηθεί καθώς η σχετική υγρασία αυξάνεται. Όλες οι επιφάνειες που εκτίθενται στον αέρα που περιβάλλει το καθαρό δωμάτιο καλύπτονται γρήγορα με τουλάχιστον ένα monolayer του νερού. Όταν αυτές οι επιφάνειες αποτελούνται από ένα λεπτό επίστρωμα μετάλλων που μπορεί να αντιδράσει με το νερό, η υψηλή υγρασία μπορεί να επιταχύνει την αντίδραση. Ευτυχώς, μερικά μέταλλα, όπως το αργίλιο, μπορούν να διαμορφώσουν ένα προστατευτικό οξείδιο με το νερό και να αποτρέψουν τις περαιτέρω αντιδράσεις οξείδωσης αλλά μια άλλη περίπτωση, όπως το οξείδιο χαλκού, δεν είναι προστατευτική, έτσι στα υψηλά περιβάλλοντα υγρασίας, οι επιφάνειες χαλκού είναι πιό ευαίσθητες στη διάβρωση.
Επιπλέον, σε ένα υψηλό περιβάλλον σχετικής υγρασίας, photoresist επεκτείνεται και επιδεινώνεται μετά από τον κύκλο ψησίματος λόγω της απορρόφησης της υγρασίας. Photoresist την προσκόλληση μπορεί επίσης να έχει δυσμενείς επιπτώσεις από η υψηλότερη σχετική υγρασία η χαμηλότερη σχετική υγρασία (περίπου 30%) καθιστά photoresist την προσκόλληση ευκολότερη, ακόμη και χωρίς την ανάγκη για έναν πολυμερή τροποποιητή.
Ο έλεγχος της σχετικής υγρασίας σε ένα καθαρό δωμάτιο ημιαγωγών δεν είναι αυθαίρετος. Εντούτοις, ως χρονικές αλλαγές, είναι καλύτερο να αναθεωρηθούν οι λόγοι και τα θεμέλια των κοινών, γενικά αποδεκτών πρακτικών.
Η υγρασία μπορεί να μην είναι ιδιαίτερα αξιοπρόσεχτη για την ανθρώπινη άνεσή μας, αλλά ασκεί συχνά μεγάλη επίδραση στη διαδικασία παραγωγής, ειδικά όπου η υγρασία είναι υψηλή, και η υγρασία είναι συχνά ο χειρότερος έλεγχος αυτός είναι ο λόγος για τον οποίο στον έλεγχο θερμοκρασίας και υγρασίας του καθαρού δωματίου, η υγρασία προτιμάται.
Υπεύθυνος Επικοινωνίας: Mrs. Zhao
Τηλ.:: 86 20 13378693703
Φαξ: 86-20-31213735